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Profilm3D是一款兼具垂直掃描干涉(VSI)和高精確度相移干涉(PSI)技術的經濟型光學輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。Profilm3D光學輪廓儀具有以下優點：?價格優勢：市場上具性價比的白光干涉輪廓儀，具有價格優勢的高精度輪廓儀。?快速測量大面積區域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達100mm*100mm，可實現大面積樣品的輕松測量；?簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；?可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式...

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